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15 件在售专利
本实用新型公开了一种去除晶圆表面瑕疵的抛光机,涉及晶圆抛光技术领域。该去除晶圆表面瑕疵的抛光机,包括工作台,所述工作台的顶部焊接安装有连接支架,工作台的上方设置有顶板,连接支架的自由端和顶板固定连接,工作台上设置有固定组件,顶板的顶部固定安装有液压缸,顶板的下方设置有壳体,壳体的内部固定安装有驱动电机,壳体的底部通过转轴连接有抛光盘,驱动电机的输出轴和抛光盘固定连接,顶板的下方设置有处理组件。该实用新型一方面能够对抛光盘进行降温处理,防止温度过高出现损坏的现象,另一方面,能够对抛光过程中产生的细小杂质灰尘等进行吸收和雾化,一定程度上能够对环境进行保护,使用方便,便于推广。
📄 202320710643X 📂 B24B29_02 👤 苏州八术激光技术有限公司 📅 2023-04-03
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晶圆切割设备
实用新型 已授权
本实用新型涉及晶圆切割设备,包括固定支架,所述固定支架的内侧通过支板固定连接有切割推杆,所述切割推杆的一端固定连接有切割机构,所述固定支架的底端面内侧固定连接有固定底座,所述固定支架的顶端面内侧固定连接有电动推杆,所述电动推杆的另一端固定连接有压力传感器,所述压力传感器的另一侧固定连接有活动底座,所述固定底座的内侧与活动底座的内侧均转动连接有防护球,所述固定支架的后端面固定连接有送料推杆;本实用新型在使用时,可控制夹持力度以便对硅晶棒限位固定,保证后续切割工作稳定的进行,且还具备辅助测量与送料的功能,可保证晶圆切割的厚度尺寸符合人们的使用需求,防止出现切割不合格而造成材料浪费的现象。
📄 2022231714648 📂 B28D5_00 👤 苏州八术激光技术有限公司 📅 2022-11-29
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一种晶圆上下料夹爪
实用新型 已授权
本实用新型涉及一种晶圆上下料夹爪,包括底板,所述底板顶部两侧固定连接有定位柱,所述定位柱外围套设连接有定位套,所述定位套顶部固定连接有托板,所述托板顶部中心处固定连接有旋转箱,所述旋转箱内部设有传动轴,所述传动轴顶部固定连接有C字型固定架,所述C字型固定架内部固定连接有驱动箱,所述驱动箱下方设有安装架,本实用新型通过设置第二电动伸缩杆可带动弧形夹持板进行移动,适用于不同大小的晶圆进行稳定夹持,便于上下料操作,通过设置抽气泵可将吸气盘内部抽至负压状态,通过设置吸嘴与晶圆上表面接触使夹持装置与晶圆之间的夹持稳定性有所提升,避免晶圆在上下料过程中发生脱落。
📄 2022232057253 📂 H01L21_687 👤 苏州八术激光技术有限公司 📅 2022-12-01
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一种新型的晶圆划片机
实用新型 已授权
本实用新型涉及一种新型的晶圆划片机,包括底座,所述底座的顶端转动设有转盘,所述转盘的顶端对称设有支座,所述支座的顶端均固定设有放置台,所述底座的一侧顶端固定设有划片箱,所述划片箱靠近所述转盘的一侧下部开设有与所述转盘相匹配的腔体,所述划片箱的顶端内壁上滑动设有横杆,所述横杆的底端滑动设有固定板,所述固定板的底端对称固定设有气缸一,所述气缸一的输出端固定连接有L型板,所述L型板的后侧固定设有电机一,所述电机一的输出端延伸至所述L型板内且固定连接有划刀,所述腔体的横截面为半圆形结构,所述底座内固定嵌设有电机二,本实用新型结构简单,使用方便,可以有效的提高晶圆划片的效率。
📄 2021222452302 📂 B28D5_02 👤 苏州八术激光技术有限公司 📅 2021-09-16
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本实用新型公开了一种利用RO膜的二级浓水再利用装置,包括蓄水箱,所述蓄水箱左端上方连接有浓水进口,所述蓄水箱右侧依次安装有一级过滤箱、消毒杀菌箱和二级过滤箱,所述二级过滤箱右端下方连接有浓水出口,所述蓄水箱、一级过滤箱、消毒杀菌箱和二级过滤箱相互之间安装有输液泵,结构简单,构造清晰易懂,蓄水箱右侧依次安装有一级过滤箱、消毒杀菌箱和二级过滤箱,分别对浓水进行过滤、杀菌消毒和过滤作业,最后经过处理的浓水从浓水出口排出,实现再利用作业,其中的蓄水箱、一级过滤箱、消毒杀菌箱和二级过滤箱相互之间安装有输液泵,输液泵用于浓水的传输,处理效果好,效率高,自动化程度高,操作方便,功能性强,值得推广。
📄 2021219601250 📂 C02F9_08 👤 苏州八术激光技术有限公司 📅 2021-08-19
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本实用新型公开了一种晶圆切割设备的药水盛装用药箱,包括箱体,所述箱体下端安装有固定机构,所述箱体下半部两侧均安装有混合机构,所述箱体上端中间位置还设置有排气管,所述箱体上端左侧位置安装有喷洒机构,所述箱体上端右侧位置还安装有进药机构,本实用新型结构简单,不但便于拆卸,同时可以自动按浓度添加药水并将药水混合均匀,能够给机床裁剪技术领域带来便利。
📄 2021219601246 📂 B28D5_00 👤 苏州八术激光技术有限公司 📅 2021-08-19
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本实用新型公开了一种芯片隐切用碎屑吸附装置,包括切割台,所述切割台的上端面四周拐角均连接支撑杆,所述支撑杆的顶端连接有支撑板,所述支撑板的左端面固定安装有第一电机,所述支撑板的下方设有电动推杆,所述电动推杆的输出端连接有吸屑盘,所述支撑板的上端面固定连接有收集箱,所述收集箱的内部安装有滤网,所述收集箱的上端面左侧安装有吸尘泵,切割时,通过启动吸尘泵可将产生的碎屑吸入到收集箱的内部,滤网对碎屑进行阻挡,从而碎屑将留在收集箱中,通过第一电机方便调整吸屑盘的左右位置,通过第二电机便于调整吸屑盘的前后位置,通过电动推杆可调整吸屑盘的上下位置,便于人员对需要吸屑的位置进行调节。
📄 2021219587075 📂 B28D5_00 👤 苏州八术激光技术有限公司 📅 2021-08-19
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本实用新型涉及一种晶圆激光切割装置的定位机构,包括工作台,所述工作台顶部设置有工作槽,所述工作槽内设置有移动座,所述移动座上设置有通孔,所述通孔内设置有驱动螺杆,所述移动座顶部设置有安装座,所述安装座顶部设置有真空吸盘,所述工作槽外侧设置有滑槽,所述滑槽内设置有滑道,所述滑道上安装有移动滑块,且所述移动滑块设置在驱动螺杆两端,所述工作槽内壁上设置有位移标,且所述安装座上设置有与位移标匹配的激光位移传感器,所述工作台顶部安装有支撑杆,所述支撑杆顶部安装有液压伸缩杆,结构简单,设计合理,能够对晶圆进行准确定位,从而保证切割质量。
📄 2021224334349 📂 B23K26_38 👤 苏州八术激光技术有限公司 📅 2021-10-09
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一种晶圆贴膜装置
实用新型 已授权
本实用新型涉及一种晶圆贴膜装置,包括底座,所述底座顶部固定连接有工作台,所述工作台前后两侧均固定连接有驱动箱,所述驱动箱一侧固定连接有伺服电机,所述驱动箱顶部通过支撑杆固定连接有压膜框,所述压膜框顶部固定连接有第一电动伸缩杆,所述压膜框一侧设有晶圆夹持盘,所述晶圆夹持盘一侧设有滑轨,所述滑轨滑动连接有立柱,所述立柱顶部固定连接有横板,所述立柱一侧固定连接有第二电动伸缩杆,所述第二电动伸缩杆末端与工作台顶部固定连接,本实用新型可对晶圆进行稳定夹持,避免贴膜时发生晃动,影响贴膜效果,可对待贴膜的晶圆表面进行清理,避免杂质附着在晶圆表面,贴膜后可对晶圆表面进行滚压,避免膜与晶圆之间产生气泡。
📄 2021222452321 📂 H01L21_67 👤 苏州八术激光技术有限公司 📅 2021-09-16
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一种晶圆用激光切割装置
实用新型 已授权
本实用新型公开了一种晶圆用激光切割装置,包括底台,所述底台的顶部固定连接有工作台,所述工作台的顶部固定连接有主架板,所述主架板上靠近其中部的下表面固定安装有活动性激光切割器,所述工作台上靠近其左侧的顶部通过支架固定安装有驱动机一,所述驱动机一的输出端固定连接有螺纹杆,所述工作台上靠近其中部的上表面固定连接有稳定板,所述稳定板的内部开设有空腔。本实用新型通过上述等结构的配合,实现了便于工作人员对晶圆进行多角度的改变,且便于工作人员进行晶圆的水平位置高度的调节,保证了晶圆调位时的平稳性,间接的提高了工作人员的工作效率,给工作人员的工作带来了便利。
📄 2021222446496 📂 B23K26_38 👤 苏州八术激光技术有限公司 📅 2021-09-16
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本实用新型公开了一种晶圆加工用激光隐切装置,包括箱体,所述箱体顶部固定设有防护罩,所述防护罩内腔顶部固定设有液压杆,所述液压杆一侧通过调节组件固定连接有激光切割装置,所述液压杆底端固定设有缓冲组件,所述缓冲组件底部通过转轴连接有压板,通过设置旋转机构,旋转机构可以带动切割台旋转,进而可以带动切割台顶部放置的硅晶圆旋转,硅晶圆旋转的同时激光切割装置可以对硅晶圆四周进行切割,通过设置液压杆,液压杆可以控制压板升降,压板可以在不影响硅晶圆旋转的同时对需要切割的硅晶圆进行夹持固定,可以避免硅晶圆切割过程中晃动,切割工艺简单,加工效率高。
📄 2021224342307 📂 B23K26_38 👤 苏州八术激光技术有限公司 📅 2021-10-09
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一种晶圆贴膜机的贴膜台
实用新型 已授权
本实用新型公开了一种晶圆贴膜机的贴膜台,台体上位于贴膜环定位区的外侧设有限位带,该台体上放置有底环,底环的侧壁与限位带抵接后定位于台体上,且该底环覆盖至少部分手指槽的上方空间,底环上远离其外壁的一侧设有凹台,凹台上放置有顶环,顶环与放置于晶圆放置区内的晶圆共同贴合蓝膜,该顶环与底环之间形成间隙用于导向刀片将蓝膜裁切。本实用新型通过设置底环并将其定位,底环横贯手指槽的上部空间,将顶环放入凹台内,贴膜完成后用刀片沿着间隙将蓝膜裁切,然后将顶环、以及与之共同贴合蓝膜的晶圆取下,即可完成客户定制需求的晶圆贴膜。
📄 2021219511678 📂 H01L21_67 👤 苏州八术激光技术有限公司 📅 2021-08-19
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一种去除晶圆表面瑕疵的抛光机

202320710643X · 苏州八术激光技术有限公司
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晶圆切割设备

2022231714648 · 苏州八术激光技术有限公司
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一种晶圆上下料夹爪

2022232057253 · 苏州八术激光技术有限公司
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一种新型的晶圆划片机

2021222452302 · 苏州八术激光技术有限公司
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一种利用RO膜的二级浓水再利用装置

2021219601250 · 苏州八术激光技术有限公司
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一种晶圆切割设备的药水盛装用药箱

2021219601246 · 苏州八术激光技术有限公司
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一种芯片隐切用碎屑吸附装置

2021219587075 · 苏州八术激光技术有限公司
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一种晶圆激光切割装置的定位机构

2021224334349 · 苏州八术激光技术有限公司
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一种晶圆贴膜装置

2021222452321 · 苏州八术激光技术有限公司
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一种晶圆用激光切割装置

2021222446496 · 苏州八术激光技术有限公司
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一种晶圆加工用激光隐切装置

2021224342307 · 苏州八术激光技术有限公司
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一种晶圆贴膜机的贴膜台

2021219511678 · 苏州八术激光技术有限公司
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交易类型:开放许可
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