实用新型 已授权

一种晶圆用激光切割装置

📄 申请号:CN202122244649.6 📄 发布日:2026/07/13

著录项目信息

申请日
2021-09-16
公开号
CN215966949U
公开日
2022-03-08
申请人
苏州八术激光技术有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

半导体芯片制造, 晶圆划片, 集成电路封装

摘要

本实用新型公开了一种晶圆用激光切割装置,包括底台,所述底台的顶部固定连接有工作台,所述工作台的顶部固定连接有主架板,所述主架板上靠近其中部的下表面固定安装有活动性激光切割器,所述工作台上靠近其左侧的顶部通过支架固定安装有驱动机一,所述驱动机一的输出端固定连接有螺纹杆,所述工作台上靠近其中部的上表面固定连接有稳定板,所述稳定板的内部开设有空腔。本实用新型通过上述等结构的配合,实现了便于工作人员对晶圆进行多角度的改变,且便于工作人员进行晶圆的水平位置高度的调节,保证了晶圆调位时的平稳性,间接的提高了工作人员的工作效率,给工作人员的工作带来了便利。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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议价
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