实用新型已授权

一种去除晶圆表面瑕疵的抛光机

Name: 一种去除晶圆表面瑕疵的抛光机
Brand: 苏州八术激光技术有限公司
SKU: 202320710643X
Availability: InStock

📄 申请号：CN202320710643.X 📄 发布日：2026/07/13

著录项目信息

申请日

2023-04-03

公开号

CN219426510U

公开日

2023-07-28

申请人

苏州八术激光技术有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B24B29_02

IPC 分类号

B24B29_02 , B24B27_00 , B24B27_02 , B24B41_06 , B24B55_02 , B24B55_06 ,

技术画像

所属领域

抛光机半导体制造设备晶圆抛光技术表面处理工艺抛光机

应用场景

集成电路制造, 半导体晶圆加工, 芯片制造, 晶圆表面平坦化, 半导体器件制备

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摘要

本实用新型公开了一种去除晶圆表面瑕疵的抛光机，涉及晶圆抛光技术领域。该去除晶圆表面瑕疵的抛光机，包括工作台，所述工作台的顶部焊接安装有连接支架，工作台的上方设置有顶板，连接支架的自由端和顶板固定连接，工作台上设置有固定组件，顶板的顶部固定安装有液压缸，顶板的下方设置有壳体，壳体的内部固定安装有驱动电机，壳体的底部通过转轴连接有抛光盘，驱动电机的输出轴和抛光盘固定连接，顶板的下方设置有处理组件。该实用新型一方面能够对抛光盘进行降温处理，防止温度过高出现损坏的现象，另一方面，能够对抛光过程中产生的细小杂质灰尘等进行吸收和雾化，一定程度上能够对环境进行保护，使用方便，便于推广。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN219426510U

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

晶圆切割设备

当前第 / 件

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：152 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 已报项目

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 2657件好评率 98.5%

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