发明专利已授权

一种基于低温辉光等离子体的疏水减摩自润滑碳膜及其制备方法

📄 申请号：CN202110322329.X 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2021-03-25

公开号

CN113265641B

公开日

2022-07-22

申请人

安徽工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C16_26

IPC 分类号

C23C16_26 , C23C16_02 , C23C8_38 ,

技术画像

所属领域

碳基薄膜材料碳基薄膜材料等离子体表面处理润滑涂层

应用场景

机械部件润滑, 减摩耐磨涂层, 疏水防腐蚀表面, 工模具涂层, 表面改性

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摘要

本发明涉及碳膜制备技术领域，具体涉及一种基于低温辉光等离子体的疏水减摩自润滑碳膜及其制备方法，对材料进行抛光处理，将材料置于等离子体渗氮炉中，抽真空至10～50Pa，接通电压，电压保持在600～800V，占空比30％～80％；通入碳源气体和氢气/氩气，调节炉内温度和气压，开始制备疏水减摩自润滑的碳膜，保持稳定的温度和气压等参数一段时间，接着试样随炉冷却至室温，取出试样；这种基于低温辉光等离子体的疏水减摩自润滑碳膜及其制备方法，解决了如何在低温下采用低成本制备兼具疏水和减摩自润滑特性的碳膜的问题。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20220722

✅ 授权

20210903

?? 实质审查的生效：

20210817

📄 公开

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