发明专利已授权

一种等离子体辅助多步骤连续制备渗层/非晶碳膜复合涂层的方法及其应用

📄 申请号：CN202211029925.X 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2022-08-25

公开号

CN115323349B

公开日

2023-07-25

申请人

安徽工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C16_02

IPC 分类号

C23C16_02 , C23C16_26 , C23C16_50 , C23C8_38 ,

技术画像

所属领域

表面工程表面工程非晶碳膜等离子体辅助沉积

应用场景

刀具涂层, 模具涂层, 机械零部件耐磨保护, 汽车零部件表面强化, 精密工模具表面处理

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摘要

本发明涉及复合涂层制备技术领域，具体涉及一种等离子体辅助多步骤连续制备渗层/非晶碳膜复合涂层的方法及其应用，本发明利用梯度降温氩离子等离子体活化技术，衔接高温等离子体渗碳/氮和低温等离子体镀碳膜技术，利用多次高能氩离子轰击活化材料表面，去除渗层表面团簇状多孔疏松结构，使表面更加致密平整，促进后续非晶碳膜形核生长，形成一种高温氮/碳离子等离子体扩渗+梯度降温氩离子等离子体活化+低温碳离子等离子体镀膜多步骤连续制备渗层/非晶碳膜复合涂层的集成技术，并将其应用在轴承、齿轮等传动件、转动件领域。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20230725

✅ 授权

20221129

?? 实质审查的生效：

20221111

📄 公开

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