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摘 要:本发明公开了一种化学气相沉积(CVD)法在FeS2表面生长MoS2的冷却系统,以解决CVD法在FeS2基底上生长MoS2过程中对FeS2实时冷却的技术问题。该冷却系统包括冷却器、第Ⅰ外管、第Ⅱ外管、第Ⅲ外管、进水管、回水管、两个管接头、连接法兰、两个连接套筒、两个支腿和FeS2承载架。该冷却系统可以在热反应炉的石英管内对FeS2进行降温冷却,且具有冷却温度可调节、成本低、易于安装等优点。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201810090152.3 | 专利名称: | 化学气相沉积法在FeS2表面生长MoS2的冷却系统 |
申请日: | 2018-01-30 | 申请/专利权人 | 太原理工大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 山西省太原市迎泽西大街79号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C23C16/46搜分类 化学化工搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |