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摘 要:本发明涉及微纳材料制备技术领域,公开了一种氧化锌薄膜及其制备方法和应用,该薄膜上具有至少一个纳米环状周期性结构的图案,各纳米环状周期性结构中均具有若干纳米环;各纳米环的线宽均为40~200 nm,槽深均为40~80 nm;周期均为80~400 nm;制备方法为:制备纳米环状周期性结构的光刻胶母板;使用该母板通过软纳米压印光刻技术制备纳米环状周期性结构的柔性转移模板;将柔性转移模板置于已经旋涂成膜的氧化锌前聚体上,加热加压后移除柔性转移模板得氧化锌薄膜。本发明中的氧化锌薄膜结晶程度高,形貌均匀有序,能实现对光的有序调控,增强电子迁移复合,具有广阔的应用前景。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201810195059.9 | 专利名称: | 氧化锌薄膜及其制备方法和应用 |
申请日: | 2018-03-09 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/02搜分类 塑料搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 25000.0元 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |