实用新型已授权

一种照射机构及具有其的曝光机

Name: 一种照射机构及具有其的曝光机
Brand: 广东海圣科技有限公司
SKU: 2022236092538
Price: 2300.0 CNY
Availability: InStock

📄 申请号：CN202223609253.8 📄 发布日：2026/07/16

著录项目信息

申请日

2022-12-30

公开号

CN219328980U

公开日

2023-07-11

申请人

广东海圣科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

G03F7_20

IPC 分类号

G03F7_20 , H05K3_06 ,

技术画像

所属领域

光学曝光技术光学曝光技术光刻技术紫外光源系统

应用场景

集成电路制造, 半导体光刻, 显示面板制造, 印刷电路板制造, 掩模版曝光

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摘要

本实用新型公开了一种照射机构及具有其的曝光机，其在曝光机对应料台上方和下方的位置分别设置了上光源和下光源，在上光源的上支架活动设置了具有第一LED光源的第一移动台，在下光源的下支架活动设置了具有第二LED光源的第二移动台，通过第一驱动机构驱动第一移动台带动第一LED光源做左右往复运动以对料台上的待曝光物料的上表面反复进行照射曝光，通过第二驱动机构驱动第二移动台带动第二LED光源做左右往复运动以对料台上的待曝光物料的下表面反复进行照射曝光，LED光源能耗低寿命长，有效提高了曝光机照射机构的使用寿命，LED光源属于冷光源，不会产生太多的热量，避免热量影响到曝光效果，上光源和下光源均可做往复运动，避免光线照射不到位。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN219328980U

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为 2300.0 元，不含过户费。支持议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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¥2300.0 元

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：55 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 2657件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

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这项专利是否已经下证？

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