实用新型已授权

一种晶圆光刻设备

Name: 一种晶圆光刻设备
Brand: 马鞍山智温优半导体科技有限公司
SKU: 2024221185810
Availability: InStock

📄 申请号：CN202422118581.0 📄 发布日：2025/10/15

著录项目信息

申请日

2024-08-30

公开号

CN223078600U

公开日

2025-07-08

申请人

马鞍山智温优半导体科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

G03F7_20

IPC 分类号

G03F7_20

技术画像

所属领域

光刻设备半导体制造设备光刻技术光学系统光刻设备

应用场景

集成电路制造, 半导体芯片制造, 晶圆加工, 微电子制造

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摘要

本实用新型公开了一种晶圆光刻设备，包括底板，所述底板顶部的后侧固定连接有背板，所述背板的顶部固定连接有顶板，所述底板顶部的左侧固定连接有定位座，所述底板顶部的右侧固定连接有晶圆放置盒，所述顶板的表面开设有方槽。本实用新型通过电动伸缩杆的启动带动吸盘机械手向下移动，使其与晶圆表面接触对其进行抓取，螺块移动到方槽左方时晶圆位于定位座的正上方，使电动伸缩杆伸展，晶圆的下表面与定位座接触，同时使吸盘机械手解除对晶圆的抓取，以此达到了可以便捷的将晶圆放置在定位座的上方，无需工作人员手动对晶圆进行移动，避免了晶圆在移动时出现碰撞损坏的情况，提高晶圆光刻的良品率，方便使用者使用的效果。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN223078600U

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20250708

✅ 授权

一种工程园林绿化环保装置

当前第 / 件

建筑材料用粉碎设备

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：129 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 2657件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

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这项专利是否已经下证？

购买这项专利需要经过哪些流程？

该专利的转让价格是多少？

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