基于干式显影和金属掺杂Sb2Te光刻胶的光刻方法

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摘     要：本发明公开了一种基于干式显影和金属掺杂Sb2Te光刻胶的光刻方法，包括以下步骤：(1)通过薄膜沉积系统在基片上沉积金属掺杂Sb2Te光刻胶薄膜；(2)利用曝光系统对所述光刻胶薄膜进行曝光，使得曝光区域发生晶化；(3)通过反应离子刻蚀系统进行干法显影，得到最终的微纳结构。本发明的基于干式显影和金属掺杂Sb2Te光刻胶的光刻方法，工艺简单，成本低廉且环境友好，可用于全真空环境的器件制造。

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

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