咨询电话:13280638997
传真:0533-3110363
邮箱:kefu@shizifang.com
著 录 项 目:
专利/申请号: | CN202422175054.3 | 专利名称: | 一种精密的半导体光刻设备 |
申请日: | 2024-09-05 | 申请/专利权人 | 陕西江和网络科技有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 陕西省西安市高新区锦业路125号半导体产业园A座17层051-053 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G03F7/20分类检索 半导体专利转让搜索 |
公开/公告日: | 2025-06-13 | 转让价格: | 面议 【平台担保交易】 |
公开/公告号: | CN222979917U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
摘 要:本实用新型公开了一种精密的半导体光刻设备,包括,光刻机构,防护机构,所述防护机构与光刻机构固定连接,所述防护机构包括动力盒,所述动力盒内壁的底部固定连接有电机,所述电机的输出端固定连接有蜗杆组件,所述蜗杆组件的顶部转轴活动连接有挡板,所述挡板的外侧与动力盒的内壁固定连接,所述动力盒内壁的背面通过转杆活动连接有收缩轮。本实用新型通过设置防护机构,改变了传统半导体光刻设备在闲置时由于没有防护措施,导致灰尘等污渍对光刻设备造成污染,在后续进行光刻作业时若不及时清理会造成严重后果的现象,能够有效的对光刻设备进行防护作业,避免其受到灰尘等因素的影响。
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2025/06/13 | 授权 |