实用新型已授权

一种LED曝光机供气装置

📄 申请号：CN202320474456.6 📄 发布日：2026/03/09

著录项目信息

申请日

2023-03-14

公开号

CN219574593U

公开日

2023-08-22

申请人

青岛龙彩制版有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

G03F7_20

IPC 分类号

G03F7_20 , H05K3_06 ,

技术画像

所属领域

气体供给系统气体供给系统 LED曝光设备气体控制技术

应用场景

PCB制造, 半导体制造, 电子产品生产, 光刻工序

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摘要

本实用新型公开了一种LED曝光机供气装置，涉及LED曝光机技术领域，包括工作台，所述工作台中部设安装槽，所述安装槽处设储气组件，所述储气组件两侧的工作台上分别固定安装抽气组件和进气组件，用于从曝光机内抽气和向曝光机中供气。本实用新型设计方案通过真空泵将曝光机内可能存在杂质的空气抽出，经过滤块过滤后存储到储气罐内备用，储气罐中的洁净空气通过气嘴、凸块、进气支管和进气管不经过滤的进入曝光机，提高进气效率，节能高效，曝光机中进气量不足时，第二电机通过扇叶和过滤块向曝光机中输入洁净空气，延长过滤块的使用时间，提高曝光机的工作效率和加工质量。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20230822

✅ 授权

一种石膏角线模具（建筑装修装饰材料）

当前第 / 件

一种石膏角线模具清洗装置（建筑装修装饰材料）

同领域国内专利 · IPC: (G03F7_20)

G03F7_00 G03F7_004 G03F7_033 G03F7_09 G03F7_11 G03F7_16 G03F7_20 G03F7_30 G03F7_38 G03F7_40 G03F7_42 覆盖11个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：104 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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