实用新型已授权

一种制备半导体纳米材料的有机气相沉积装置

Name: 一种制备半导体纳米材料的有机气相沉积装置
Brand: 重庆移通学院
SKU: 2025208071437
Availability: InStock

📄 申请号：CN202520807143.7 📄 发布日：2026/10/19

著录项目信息

申请日

2025-04-23

公开号

CN224062887U

公开日

2026-03-31

申请人

重庆移通学院

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C23C16_44

IPC 分类号

C23C16_44 , C23C16_52 , B05D1_00 , C23C16_455 ,

技术画像

所属领域

半导体材料半导体材料有机气相沉积纳米材料制备

应用场景

半导体制造, 纳米材料制备, 光电子器件, 集成电路, 显示器件

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摘要

本实用新型属于半导体制造技术领域，尤其是涉及一种制备半导体纳米材料的有机气相沉积装置。技术包括沉积室以及设于沉积室内的气体喷淋机构和沉积托盘，所述气体喷淋机构包括均气座、安装环、安装孔、第一排气孔、支撑台阶和均气板，均气座的纵向截面呈U字形，在均气座的底部开设有多个第一排气孔，在均气座的中部内壁上形成有支撑台阶，在支撑台阶上支撑有均气板，在均气板上开设有多个第二排气孔，均气座的顶部边缘向外延伸安装环，在安装环上开设多个安装孔，均气座通过安装孔内的螺栓和沉积室固定连接。有效降低了沉积室内气流流速，使得工件在沉积时固定牢靠，而且两种反应气体混合更均匀，沉积后的薄膜均匀，产品的良品率高。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN224062887U

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种氮氧传感器的铆压设备

当前第 / 件

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同领域国内专利 · IPC: (C23C16_44)

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：6 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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