发明专利已授权

一种基于四自由度弱耦合谐振器的三轴加速度计

📄 申请号：CN202511479576.5 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2025-10-16

公开号

CN120927998B

公开日

2025-12-02

申请人

南京信息工程大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01P15_125

IPC 分类号

G01P15_125 , G01P15_18 ,

技术画像

所属领域

MEMS传感器 MEMS传感器谐振式加速度计微机械谐振器

应用场景

消费电子, 智能穿戴, 汽车电子, 惯性导航, 工业自动化

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摘要

本发明提供了一种基于四自由度弱耦合谐振器的三轴加速度计，包括上、下双层结构，其中上层为以硅为材料构建的微机械敏感元件，下层为由二氧化硅材料加工的玻璃基座，所述玻璃基座用于提供机械支撑和电学隔离功能。其中微机械敏感元件承担信号转换功能；下层玻璃底座经湿法刻蚀与金属溅射工艺成型，用于信号输出。本发明基于正交分布的谐振单元阵列与力学放大机构协同设计，结合静电驱动与振幅比检测，使用单一敏感元件实现Y轴与X轴、Z轴加速度的同步精确感知，突破传统单轴检测模式的技术限制，减少后端信号处理电路的复杂度，提升器件空间利用率。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：34 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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