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本发明公开了一种基于CMOS的光电加速度传感器，采用MEMS平面加工，该加速度传感器由短波平行光源、Y向遮光板，X向遮光板以及CMOS光电阵列组成。在遮光板上刻蚀出若干条条纹使得光线透过。当物体沿Y（X）轴运动时，Y（X）向遮光板产生的条纹位置会产生变化，同时CMOS光电阵列感应这些条纹位置的变化并计算单位时间内条纹的位移，即可得到Y（X）轴方向上的运动情况。当物体沿Z轴方向运动，X向遮光板和Y向遮光板产生的光照条纹所围成的方形内光敏元件数目会发生变化，通过计算数目的变化即可得到Z轴方向的运动情况。本发明的加速度传感器采用多位二进制数表示光照强度，具有精度高、灵敏度高等优点。