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本发明公开了基于硅布拉格光栅F‑P腔的力反馈式MEMS加速度计及制造方法，属于微电子机械系统技术领域。该力反馈式MEMS加速度计包括硅基F‑P腔MEMS敏感结构和玻璃电极基底，硅基F‑P腔MEMS敏感结构包括柔性梁、质量块、公共锚点、外围锚点、布拉格光栅F‑P敏感腔、信号传输光纤以及驱动梳齿；玻璃电极基底包括玻璃衬底和电极；硅基F‑P腔MEMS敏感结构将水平轴输入加速度转换为质量块的位移，导致一对反向布置F‑P敏感腔的腔隙发生反向漂移，引发F‑P腔干涉光信号的反相变换，实现加速度的高精度差分检测，该力反馈式MEMS加速度计具有灵敏度高、抗共模误差能力强、动态范围大、长期稳定性好的优点。

本发明提供了一种耦合刚度扰动式MEMS模态局部化加速度计，核心敏感单元采用双音叉谐振器并行排列构型，通过等效支撑刚度参数的差异设计构建失调弱耦合谐振系统。外音叉谐振器与敏感质量块直接相连接，内音叉谐振器通过基底锚点实现全约束固定，二者通过静电耦合平行板组成双音叉静电弱耦合谐振结构，从而实现谐振单元之间的能量传递。本发明在机理上区别于传统的刚度或质量扰动式模态局部化传感器，当加速度计受到外界加速度的作用时，其惯性微位移被转换为弱耦合谐振系统的耦合刚度变化，通过外接电路实现对于弱耦合谐振系统的谐振单元振幅比的检测，进而实现对于耦合刚度扰动的检测，最终实现对被测量加速度的高灵敏度检测。

本发明涉及一种基于热对流原理的微机械加速度传感器的设计及其制作方法。本发明所涉及的热对流式微机械加速度传感器没有在硅片上开孔形成腔结构，而是通过BCB键合胶把玻璃盖板和硅片键合来形成密闭空腔，并且在所述的第一基底上制作了一层聚酰亚胺膜来防止热量散失，保证热气团更好地发挥作用和降低功耗，另外聚酰亚胺膜也可以防止铂电极漏电，这种设计使工艺过程变得简单而且制作出来的传感器结构更稳定，可靠性高，性能也更好。

本发明公开了一种三维加速度检测方法，包括以下步骤：(1)、利用六面同时产生相斥磁力使磁悬浮体能够达到六面磁力平衡状态并悬浮在磁性腔体中；(2)、当被测载体加速时，磁性腔体和悬浮体之间打破平衡状态并产生相对位移，进而使加速度变化转化为磁悬浮体与磁性腔体之间的磁力变化；(3)、在磁性腔体六面均形成磁力感应结构，通过该结构使磁悬浮体与磁性腔体之间的磁力变化转化为相应的电信号；(4)、通过检测磁性腔体六面产生的电信号变化进而计算出三维加速度。采用上述技术方案，被测载体的加速度的变化引起磁悬浮体和磁性腔体之间的磁力的变化并通过磁力感应结构将磁力变化为电信号，使悬浮体和加速度输入的关系即简单又精确。

本发明公开了一种MEMS光谐振式加速度计，属于微纳机电系统与光学传感领域。该加速度计包括玻璃基座、硅微结构层、安全结构组、双象限光电探测器及光源；玻璃基座中心设双象限光电探测器；硅微结构层具有通过四组垂直力放大单元连接的受力基座和质量块；受力基座四角设折叠梁式安全结构；质量块中心设圆形透光孔且与双象限光电探测器共轴对齐，两侧对称布置静电梳齿驱动器组以激励谐振；光源发射垂直光束经透光孔被双象限光电探测器接收；加速度作用于受力基座时，惯性力经杠杆机构放大转换为质量块的轴向应力，调制其谐振频率；当光强信号相位滞后驱动信号90°时，系统锁定谐振状态，通过频率偏移解算加速度，实现加速度高精度测量。

本发明公开了基于光强度调制的MOMES加速度计，属于微电子机械系统及惯性测量技术领域。所述MOMES加速度计包括硅基底座、质量块、固定锚点、弹性梁组件和双光电探测器；质量块通过弹性梁组件和固定锚点悬挂在硅基底座上，固定锚点固定在硅基底座的表面，且固定锚点与弹性梁组件连接；质量块的中心设有完全贯穿厚度方向的透光孔；双光电探测器固定在硅基底座的表面，且位于透光孔的光投射区域。当加速度计沿Y轴方向受到外界加速度作用时，矩形质量块相对于硅基底座产生位移，使透光孔投射的光斑在双光电探测器上的光强分布发生差分变化；使得该加速度计具有高灵敏度、抗干扰能力强及工艺兼容性好等优点，适用于高精度惯性测量。

本发明公开了一种分布式质量块结构MEMS压阻式加速度传感器芯片，包括硅质基底和棚玻璃体；硅质基底内布置有四个悬空质量块；四个悬空质量块之间通过四根扭转梁连接形成正方形；扭转梁和悬空质量块朝向棚玻璃体的一面平齐，扭转梁位于悬空质量块的中轴线上；四个悬空质量块朝向硅质基底相对的两个内侧壁的侧壁，分别通过四根支撑梁与硅质基底的内侧壁连接；四个悬空质量块朝向硅质基底相对的另两个内侧壁的侧壁，分别通过四根敏感梁与硅质基底的内侧壁连接；支撑梁、敏感梁和悬空质量块远离棚玻璃体的一面平齐，支撑梁和敏感梁均位于悬空质量块的中轴线上。本发明可以从理论上消除传感器的横向交叉干扰，且加工更为容易，方便批量化生产。

本发明公开了一种叶片式液压流量减速度传感器及减速度方法，减速度传感器包括壳体，壳体内设有转轴，阻尼板和可变电阻，阻尼板与可变电阻联动，阻尼板在液压作用下转动，转轴通过回位弹簧与阻尼板连接，可变电阻将阻尼板转动的角度转变成可变电阻转动弧度，阻尼板为叶片式。当汽车高速行驶并刹车时，液压油被压缩推动阻尼板旋转，转轴和回位弹簧摆动时，液压油通过，可变电阻阻值发生变化。当阻尼板保持一定开度时，电位计电阻值也保持一定，此时其测量端将信号电压输送到ABS的ECU。当达到设定阻值和压力值范围时，即ABS开始防抱死。本发明采用制动踏板与液压油、弧形可变电阻结合的方式，及时方便的传达电信号，避免ABS启动滞后性，缩短了启动时间。