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本发明公开了基于光栅衍射的加速度传感器，该加速度传感器由所述加速度传感器的结构主要由衍射光源、砷化镓太阳能电池阵以及外围电路多通道ADC组成；其中，衍射光源由长波光源、遮光板、光栅和透镜组成，采用光源外壳将其集装在一起，其中长波光源的四周采用弹簧将其固定在光源外壳内部；当传感器运动时，由于惯性长波光源随之运动，衍射在太阳能电池阵列上的条纹随之移动。根据光伏效应，产生相应变化的光电流。通过ADC外围电路进行检测可以得传感器的运动情况。此加速度传感器具有精度高、灵敏度高等优点。

本发明提供了一种硅基自由空间型光学MEMS加速度计及制造方法，所述加速度计上层为玻璃基底自由空间光学敏感结构、下层为硅基水平轴MEMS敏感结构，上层结构通过键合工艺固定于下层结构之上。其中上层光学敏感结构由一对迈克尔逊干涉仪、一个玻璃锚点和一个玻璃质量块组成；下层MEMS敏感结构由四组悬臂梁、一个硅锚点和一个硅质量块组成。下层MEMS敏感结构将水平轴输入加速度转换为硅质量块位移，该位移同步传递至玻璃质量块，反向布置的一对迈克尔逊干涉仪将位移转换为干涉光相位的反向变换，从而实现加速度的高精度差分检测。本发明提出的微光学加速计方案具有检测灵敏度高、抗共模误差能力强、集成度高的突出优点。