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本发明提供了一种基于四自由度弱耦合谐振器的三轴加速度计，包括上、下双层结构，其中上层为以硅为材料构建的微机械敏感元件，下层为由二氧化硅材料加工的玻璃基座，所述玻璃基座用于提供机械支撑和电学隔离功能。其中微机械敏感元件承担信号转换功能；下层玻璃底座经湿法刻蚀与金属溅射工艺成型，用于信号输出。本发明基于正交分布的谐振单元阵列与力学放大机构协同设计，结合静电驱动与振幅比检测，使用单一敏感元件实现Y轴与X轴、Z轴加速度的同步精确感知，突破传统单轴检测模式的技术限制，减少后端信号处理电路的复杂度，提升器件空间利用率。

本发明提供了一种Z轴敏感的MEMS耦合刚度调制式加速度计，包括上层结构和下层结构；所述上层结构是基于硅材料的硅微机械传感器，所述下层结构是基于二氧化硅的玻璃底座；所述硅微机械传感器通过锚点与玻璃底座连接，所述玻璃底座上面布有信号电极。所述硅微机械传感器包括惯性质量块，第一谐振器、第二谐振器、弹性支撑梁系统和锚点。本发明结构能够增强惯性质量块在Z轴方向的位移响应，实现对Z轴加速度的灵敏检测与信号放大，提升了加速度计的整体性能与测量精度。

本发明公开了一种MEMS高g值三轴加速度计，其包括：外部矩形框架，设在外部矩形框架中心的质量块，设在外部矩形框架和质量块之间的回形梁；回形梁与质量块之间通过中间支撑梁连接；外部矩形框架、回形梁及质量块在四角位置通过对角支撑梁连接；在外部矩形框架和回形梁之间连接有敏感微梁，在敏感微梁上设置有压敏电阻。本发明的三轴加速度计结构中心对称，轴间耦合度低，在不牺牲固有频率的同时实现了较高的灵敏度，且其制作工艺简单。

本发明提出一种低阻尼电容式加速度传感器及其制备方法，所述低阻尼电容式加速度传感器，由变间距式和变面积式两种电容结构组成。所述变间距式电容采用具有差分特性的梳齿状电极板结构，通过静电驱动方式减小电容可动极板和固定极板的间距，克服了干法刻蚀工艺对高深宽比梳齿状电极结构制备的难题，有效提高了所制备加速度传感器的初始电容；并在变间距式电容的固定极板上刻蚀倒三角形凹槽结构，与已报道的矩形凹槽结构相比，大大降低了空气阻尼并且具有较好的保真度。将变间距式和变面积式电容结构组合能够有效提高传感器的灵敏度、降低空气阻尼。本发明中的传感器初始电容大，阻尼小，噪声低，灵敏度高，制作工艺简单，可以降低成本。