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本发明提供了一种硅基自由空间型光学MEMS加速度计及制造方法，所述加速度计上层为玻璃基底自由空间光学敏感结构、下层为硅基水平轴MEMS敏感结构，上层结构通过键合工艺固定于下层结构之上。其中上层光学敏感结构由一对迈克尔逊干涉仪、一个玻璃锚点和一个玻璃质量块组成；下层MEMS敏感结构由四组悬臂梁、一个硅锚点和一个硅质量块组成。下层MEMS敏感结构将水平轴输入加速度转换为硅质量块位移，该位移同步传递至玻璃质量块，反向布置的一对迈克尔逊干涉仪将位移转换为干涉光相位的反向变换，从而实现加速度的高精度差分检测。本发明提出的微光学加速计方案具有检测灵敏度高、抗共模误差能力强、集成度高的突出优点。

本发明涉及一种差分谐振式微加速度计及其驱动方法，属于微机械传感器的技术领域。加速度计机械结构层包括两个单元。每个单元都包括第一音叉结构，两个质量块系统，质量块系统包括质量块，两根垂直梁。两个质量块系统都有一根与第一音叉结构连接的垂直梁，两根垂直梁构成第二音叉结构，第一音叉结构在X轴方向的刚度小于第二音叉结构在X轴方向的刚度，增加了结构振动稳定性，降低了灵敏度对制造误差的依赖度，抑制对称性误差。驱动方法通过控制加载在驱动电极上的电压来调节两个单元工作在不同模态，取两个单元中相同运动方向的质量块系统谐振频率实现差频输出，避免了传统驱动方式难以兼顾测量响应时间和测量带宽的缺陷。

本磁悬浮用的磁板包括呈方形的固定板，在固定板的每个侧边分别设有倾斜配合面，在其中两个相对的倾斜配合面上设有定位槽一，在每个定位槽一中分别设有厚度小于定位槽一深度的连接块一，在连接块一远离定位槽一槽底的一面设有至少一配合槽，在另外两个相对的倾斜配合面上设有定位槽二，在每个定位槽二中分别设有厚度小于定位槽二深度的连接块二，在连接块二远离定位槽二槽底的一面设有至少一与所述的配合槽相互匹配的配合凸起，在固定板的内表面设有压电感应层和设置压电感应层远离在固定板一面的永磁层。