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本发明公开了一种MEMS加速度计非线性误差补偿方法，包括：建立MEMS加速度计温度非线性误差分数阶模型，并将模型进行离散化处理得到加速度计输出迭代方程；根据加速度计输出利用布谷鸟算法对分数阶模型进行参数辨识得到MEMS加速度计非线性误差模型；根据分数阶模型得到加速度计系统函数，在此基础上设计非线性误差校正电路，将MEMS加速度计输出减去校正电路输出，得到经过非线性误差校正后的MEMS加速度计输出，本发明既能有效降低加速度计非线性误差，又避免了复杂的数学运算，降低计算时延。

本发明提供了一种基于四自由度弱耦合谐振器的三轴加速度计，包括上、下双层结构，其中上层为以硅为材料构建的微机械敏感元件，下层为由二氧化硅材料加工的玻璃基座，所述玻璃基座用于提供机械支撑和电学隔离功能。其中微机械敏感元件承担信号转换功能；下层玻璃底座经湿法刻蚀与金属溅射工艺成型，用于信号输出。本发明基于正交分布的谐振单元阵列与力学放大机构协同设计，结合静电驱动与振幅比检测，使用单一敏感元件实现Y轴与X轴、Z轴加速度的同步精确感知，突破传统单轴检测模式的技术限制，减少后端信号处理电路的复杂度，提升器件空间利用率。

本发明公开了一种分布式质量块结构MEMS压阻式加速度传感器芯片，包括硅质基底和棚玻璃体；硅质基底内布置有四个悬空质量块；四个悬空质量块之间通过四根扭转梁连接形成正方形；扭转梁和悬空质量块朝向棚玻璃体的一面平齐，扭转梁位于悬空质量块的中轴线上；四个悬空质量块朝向硅质基底相对的两个内侧壁的侧壁，分别通过四根支撑梁与硅质基底的内侧壁连接；四个悬空质量块朝向硅质基底相对的另两个内侧壁的侧壁，分别通过四根敏感梁与硅质基底的内侧壁连接；支撑梁、敏感梁和悬空质量块远离棚玻璃体的一面平齐，支撑梁和敏感梁均位于悬空质量块的中轴线上。本发明可以从理论上消除传感器的横向交叉干扰，且加工更为容易，方便批量化生产。

本实用新型公开了一种MEMS气体传感器，包括基板、传感器主体以及设于传感器主体上的防尘罩，通过防尘罩对传感器主体覆盖防护，具有对气体传感器外部防护的效果，在气体传感器配合使用过程中受到外力损坏或传感器主体的气敏部受到影响的几率大大降低，传感器主体通过插柱上的导电弹片与基板上插孔内导电层内部插接的导电铜管向配合，导电弹片弹性抵触向导电铜管内壁，实现导电弹片通过导电铜管、导电层的配合与金属引线电连，对传感器主体与基板呈可分离式快速组装，提高对传感器主体装配效率的同时，方便后期检修拆卸。

本发明适用于空气检测技术领域，提供了一种用于干燥粉末的多孔式MEMS气体传感器，包括绝缘套框和贴合在绝缘套框顶部中间位置的顶盖，所述顶盖的顶部开设有等距离呈环形分布的透气孔，且顶盖的外围和绝缘套框的外围设置有同一个外壳，所述顶盖的两侧与外壳的两侧之间设置有拆装组件，所述绝缘套框的内部设置有MEMS气体传感器组成组件，所述顶盖的顶部内壁中间位置固定安装有微型电机，本发明中形成较好的清理结构，避免高浓度粉末残留在气体传感器的表面以及内部严重影响传感器的持续使用以及多次利用，防止造成整个MEMS气体传感器不灵敏的现象，实现对敏感元件进行更换的效果，避免长期使用后敏感元件出现损坏造成无法工作的问题。