发明专利已授权

一种碳化硅晶片抛光加工状态在线监测方法

📄 申请号：CN202211480337.8 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2022-11-24

公开号

CN115922553B

公开日

2026-01-02

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B24B37_005

IPC 分类号

B24B37_005 , G06F18_10 , G06F18_213 ,

技术画像

所属领域

半导体晶片加工半导体晶片加工化学机械抛光在线监测技术

应用场景

半导体晶片制造, 晶圆抛光加工, 在线质量监测, 智能制造, 功率半导体器件制造

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摘要

本发明公开一种碳化硅晶片抛光加工状态在线监测方法，包括以下步骤：采集碳化硅晶片研磨抛光完整工况的周期振动信号数据，构建碳化硅晶片研磨抛光材料去除特征数据集；建立加工试验工况库，并将振动信号测试值放入匹配的工况库中；对振动信号进行变分模态分解，获取IMF主分量能量谱；构建实际加工特征指数；建立粒子滤波状态估计模型；通过粒子点进行新特征指数构建，并以此迭代实现碳化硅晶片抛光加工状态在线监测。本发明通过对原始振动信号进行变分模态分解，可以有效去除噪声，获得主能量谱，使得后续分析更加准确，抗干扰能力增强。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种基于图神经网络的基因交互关系预测方法和装置

当前第 / 件

一种电场激活的材料闪连装置

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：23 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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