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发明专利
已授权
一种在不锈钢表面制备金刚石薄膜的方法
📄 申请号:CN201710532082.8
📄 发布日:2026/08/04
著录项目信息
申请日
2017-07-03
申请人
浙江工业大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
C23C16_27
IPC 分类号
C23C16_27
,
C23C16_02
,
技术画像
所属领域
金刚石薄膜
金刚石薄膜
薄膜制备
表面处理
应用场景
切削刀具涂层, 耐磨零部件, 医疗器械表面改性, 散热材料, 装饰涂层
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摘要
本发明提供了一种以Cr/CrN/CrTiAlN为过渡层在不锈钢表面制备金刚石薄膜的方法,所述方法包括:对不锈钢表面进行喷砂处理,采用磁控溅射在经过喷砂处理的不锈钢表面沉积Cr/CrN/CrTiAlN过渡层,采用化学气相沉积方法,在制备的Cr/CrN/CrTiAlN过渡层上沉积金刚石薄膜;本发明以Cr/CrN/CrTiAlN为过渡层,有效阻挡了铁、碳的扩散,提高了形核率,可以在低温度下制备金刚石薄膜,该金刚石薄膜的应力值较小,小于等于1.25GPa,与不锈钢热导率相比,本发明含涂层不锈钢热导率提高3%~11%。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
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