发明专利已授权

一种在不锈钢表面沉积金刚石薄膜的新方法

📄 申请号：CN201711205535.2 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2017-11-27

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C16_27

IPC 分类号

C23C16_27 , C23C16_02 ,

技术画像

所属领域

薄膜沉积技术薄膜沉积技术表面涂层技术金刚石薄膜材料

应用场景

切削刀具, 耐磨零件, 机械部件, 表面防护, 工业工具

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摘要

本发明公开了一种在不锈钢表面沉积金刚石薄膜的新方法。采用磁控溅射法在不锈钢基底上先溅射一层新颖的过渡层，然后采用热丝化学气相沉积法在过渡层上生长金刚石薄膜，先在金刚石粉悬浊液中超声30min，然后进行金刚石薄膜沉积，最后缓慢冷却降至室温，即可在不锈钢表面制备出连续致密的金刚石薄膜。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20201027

✅ 授权

20180323

?? 实质审查的生效：

20180227

📄 公开

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