发明专利已授权

一种硅基悬空光子晶体面发射型蓝光激光器及制备方法

📄 申请号：CN202010478262.4 📄 发布日：2026/07/28

著录项目信息

申请日

2020-05-29

公开号

CN111641108B

公开日

2021-09-24

申请人

南京邮电大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01S5_183

IPC 分类号

H01S5_183 , H01S5_343 , H01S5_02 ,

技术画像

所属领域

光电子器件光电子器件光子晶体半导体激光器

应用场景

光通信, 激光显示, 光存储, 激光传感

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摘要

本发明公开了一种硅基悬空光子晶体面发射型蓝光激光器及制备方法，包括硅衬底层、AlGaN缓冲层、n‑GaN层、n‑电极、有源层、p‑GaN层、p‑电极、以及在表面GaN刻蚀形成的光子晶体或在GaN表面生长制备的光子晶体层。本发明采用背面释放衬底并对Ⅲ‑Ⅴ族进行可控减薄的悬空结构，可以实现光场模式分布的调节及控制，从而优化得到在GaN表面光子晶体的高效耦合强度和在有源层的高耦合强度，利于低阈值激光器的实现。采用在GaN表面刻蚀形成光子晶体或在GaN表面生长制备光子晶体，方法工艺更加简便；同时未对有源层带来破坏，可以应用于电泵浦激光。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

基于二氧化钛光子晶体的氮化镓基面激光器及制备方法

当前第 / 件

一种广告牌安装装置

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