发明专利已授权

基于二氧化钛光子晶体的氮化镓基面激光器及制备方法

📄 申请号：CN202010475784.9 📄 发布日：2026/07/28

著录项目信息

申请日

2020-05-29

公开号

CN111641107A

公开日

2020-09-08

申请人

南京邮电大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01S5_183

IPC 分类号

H01S5_183 , H01S5_343 ,

技术画像

所属领域

光子晶体光子晶体氮化镓半导体激光器半导体光电子器件

应用场景

光通信, 激光显示, 激光加工, 光存储, 光泵浦

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摘要

本发明公开了一种基于二氧化钛光子晶体的面发射型氮化镓基激光器及制备方法，包括蓝宝石衬底层、n-GaN层、n-AlGaN层、波导n-GaN层、n-电极、InGaN/GaN成对组成的多层量子阱有源层、p-GaN层、p-电极、TiO2光子晶体层。本发明采用了TiO2作为光子晶体层的材料，实现了对光场模式分布的有益调控，能实现在光子晶体内的高效耦合，更有利于激光器低阈值的实现。采用了在晶片表面生长制备光子晶体层，相比传统的在晶片材料内部引入光子晶体的方法更为简单方便，降低了制备加工的难度。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种木质地板打磨设备及其工作方法

当前第 / 件

一种硅基悬空光子晶体面发射型蓝光激光器及制备方法

同领域国内专利 · IPC: (H01S5_183)

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