发明专利已授权

一种飞秒激光加工装置

📄 申请号：CN201610948749.8 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2016-11-02

申请人

莆田学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B23K26_06

IPC 分类号

B23K26_06 , B23K26_073 , B23K26_08 ,

技术画像

所属领域

飞秒激光加工激光加工飞秒激光技术精密加工飞秒激光加工

应用场景

精密制造, 微细加工, 半导体制造, 医疗器械加工, 航空航天制造

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摘要

本发明公开了一种飞秒激光加工装置，沿激光的光路方向依次包括飞秒激光装置、水平光路装置、竖直光路装置、激光加工设备和加工平台；通过使用飞秒激光装置降低了激光的光斑直径，通过设置在水平光路装置内的探头和激光加工设备内的微型摄像头，使得激光光束以及样品的状态得以实时观测，通过设置在水平光路装置内的第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜和第五反射镜，使得水平光路装置内位于各个反射镜之间的装置得以进行合理设置，加工装置的结构更为紧凑，通过在加工平台上设置X、Y、Z三个方向的滑动平台，使得加工平台在加工过程中可移动并进行调节。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种飞秒激光加工光路系统

当前第 / 件

一种光纤激光加工光路系统

同领域国内专利 · IPC: (B23K26_06)

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