发明专利已授权

一种飞秒激光加工光路系统

📄 申请号：CN201610948864.5 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2016-11-02

申请人

莆田学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G02B26_12

IPC 分类号

G02B26_12 , B23K26_073 , B23K26_064 , B23K26_70 ,

技术画像

所属领域

飞秒激光加工激光加工飞秒激光光学系统飞秒激光加工

应用场景

精密加工, 微纳加工, 半导体制造, 医疗器械加工, 航空航天零部件加工

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摘要

本发明公开了一种飞秒激光加工光路系统，沿激光光路依次包括飞秒激光装置、水平光路装置、竖直光路装置和激光加工设备；通过使用飞秒激光装置降低了激光的光斑直径，通过在水平光路装置内设置探头，在激光加工设备内设置微型摄像头，使得激光光束以及样品的实时状态得以观测，通过在水平光路装置内设置第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜和第五反射镜，使得水平光路装置内位于各个反射镜之间的装置得以进行合理设置，加工装置的结构更为紧凑。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

吡啶3基芳氧基苯氧基烷酸酯化合物及其应用

当前第 / 件

一种飞秒激光加工装置

同领域国内专利 · IPC: (G02B26_12)

G02B26_00 G02B26_02 G02B26_04 G02B26_06 G02B26_08 G02B26_10 G02B26_12 覆盖7个领域

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