发明专利已授权

一种基于相场和温度场控制硅基内部微结构的方法

📄 申请号：CN201810714586.6 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2018-07-03

公开号

CN109063262B

公开日

2022-12-02

申请人

深圳万知达技术转移中心有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G06F30_20

IPC 分类号

G06F30_20 , G06F119_18 ,

技术画像

所属领域

半导体工艺半导体工艺微结构调控相场模拟

应用场景

半导体器件制造, 集成电路, 微机电系统, 材料微观结构设计

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摘要

本发明公开了一种基于相场和温度场控制硅基内部微结构的方法。本发明利用硅原子的热扩散运动，基于相场和温度场研究硅基内部微结构的建模方法，建立起了硅基内腔稳定成型的计算模型，并通过改变外加热场，研究硅基内腔的成型变化机理，为微谐振腔制造的数值模拟提供了一条新的思路。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20240910

?? 专利权的转移：

20221202

✅ 授权

20190115

?? 实质审查的生效：

一种LNG冷藏车

当前第 / 件

基于电磁耦合的宽带、高隔离MIMO环天线

同领域国内专利 · IPC: (G06F30_20)

G06F30_00 G06F30_10 G06F30_12 G06F30_13 G06F30_15 G06F30_17 G06F30_18 G06F30_20 G06F30_22 G06F30_23 G06F30_25 G06F30_27 G06F30_28 G06F30_30 G06F30_31 G06F30_32 G06F30_323 G06F30_327 G06F30_33 G06F30_3308 G06F30_331 G06F30_3315 G06F30_3323 G06F30_337 G06F30_34 G06F30_36 G06F30_367 G06F30_373 G06F30_39 G06F30_392 G06F30_394 G06F30_396 G06F30_398 覆盖33个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：38 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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