发明专利已授权

一种垂直腔面发射激光器及其制作方法

📄 申请号：CN201810855774.0 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2018-07-31

公开号

CN108666868B

公开日

2023-05-02

申请人

西安工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01S5_183

IPC 分类号

H01S5_183

技术画像

所属领域

垂直腔面发射激光器垂直腔面发射激光器光通信器件半导体激光器

应用场景

光通信, 数据中心, 激光雷达, 光传感, 3D感知

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摘要

本发明公开了一种垂直腔面发射激光器及其制作方法，该激光器包括半导体衬底、主激光器和种子源激光器，所述主激光器包括由下至上依次布设的第一缓冲层、第一N面电流引导层、第一有源区、第一高铝层、第一P型分布式布拉格反射镜层和第一P面电流引导层；该方法包括以下步骤：一、半导体激光器芯片的生长；二、第一氧化限制层的制作；三、第一电流阻挡层、第一N面电极和第一P面电极的制作；四、第二氧化限制层的制作；五、第二电流阻挡层、第二N面电极和第二P面电极的制作。本发明结构简单、设计合理且体积小，通过种子源激光器提高主激光器输出高功率激光光束的光束质量，并能压缩激光线宽，实用性强。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20230502

✅ 授权

20181109

?? 实质审查的生效：

20181016

📄 公开

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当前第 / 件

一种输出空心光束的激光器及其制作方法

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：24 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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