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发明专利
已授权
一种输出空心光束的激光器及其制作方法
📄 申请号:CN201810855766.6
📄 发布日:2026/07/23
著录项目信息
申请日
2018-07-31
公开号
CN108666867B
公开日
2023-05-05
申请人
西安工业大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
H01S5_183
IPC 分类号
H01S5_183
,
H01S5_187
,
H01S5_32
,
技术画像
所属领域
激光器
激光技术
光束整形
光电子器件
激光器
应用场景
激光加工, 光学捕获与操控, 光通信, 精密测量, 科研实验
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摘要
本发明公开了一种输出空心光束的激光器及其制作方法,该激光器包括由下至上依次布设的半导体衬底、缓冲层、N型分布式布拉格反射镜层、有源区、第一高铝层、电流引导层、第二高铝层和P型分布式布拉格反射镜层,所述第一高铝层的圆周边缘设置有第一氧化限制层,所述第二高铝层的圆周边缘由内至外依次设置有第二氧化限制层和P面电极;该方法包括以下步骤:一、半导体激光器芯片的生长;二、氧化限制层的制作;三、P面电极制作;四、刻蚀孔的形成;五、N面电极的制作。本发明结构简单、设计合理且体积小,使得电流载流子汇集在有源区的圆周边缘,实现空心光束的输出,不要安装其他的光学器件,实用性强。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
一种垂直腔面发射激光器及其制作方法
当前第 / 件
一种模拟套损过程的装置
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