发明专利已授权

光学元件表面形貌及亚表面缺陷信息的检测方法及其装置

📄 申请号：CN201910228967.8 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2019-03-25

公开号

CN109916909A

公开日

2019-06-21

申请人

西安工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01N21_88

IPC 分类号

G01N21_88 , G01B11_24 ,

技术画像

所属领域

光学元件光学检测表面缺陷检测精密测量技术光学元件

应用场景

精密光学制造, 半导体检测, 光学元件质量控制, 工业无损检测

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

本发明涉及一种光学元件表面形貌及亚表面缺陷信息的检测方法及其装置。其利用波长信息测量距离，由光源射出一束宽光谱的复色光（呈白色），通过色散镜头发生光谱色散，形成不同波长的单色光，每一个波长的焦点都对应一个距离值；测量光射到物体表面被反射回来，只有满足共焦条件的单色光，可以通过小孔被光谱仪感测到，通过计算被感测的焦点的波长，换算获得距离值。利用两个光谱仪分别接收待测元件的表面以及内部缺陷的光波信息，从而同时得到光学元件的表面信息和内部缺陷的位置以及深度信息等。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

单光子雪崩二极管探测器的快速淬灭/复位电路及其方法

当前第 / 件

一种基于分布式光纤传感器的水下定位方法

同领域国内专利 · IPC: (G01N21_88)

G01N21_00 G01N21_01 G01N21_03 G01N21_07 G01N21_15 G01N21_17 G01N21_19 G01N21_21 G01N21_23 G01N21_25 G01N21_27 G01N21_29 G01N21_31 G01N21_33 G01N21_35 G01N21_3504 G01N21_3518 G01N21_3554 G01N21_3563 G01N21_3577 G01N21_3581 G01N21_3586 G01N21_359 G01N21_39 G01N21_41 G01N21_45 G01N21_47 G01N21_49 G01N21_53 G01N21_55 G01N21_552 G01N21_57 G01N21_59 G01N21_61 G01N21_63 G01N21_64 G01N21_65 G01N21_67 G01N21_69 G01N21_70 G01N21_71 G01N21_73 G01N21_75 G01N21_76 G01N21_77 G01N21_78 G01N21_79 G01N21_80 G01N21_81 G01N21_82 G01N21_84 G01N21_85 G01N21_86 G01N21_87 G01N21_88 G01N21_89 G01N21_892 G01N21_896 G01N21_898 G01N21_90 G01N21_91 G01N21_94 G01N21_95 G01N21_952 G01N21_954 G01N21_956 G01N21_958 覆盖67个领域

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

一种水稻种子的无损检测方法

¥0.0

2025109489350 · 成都农业科技职业学院

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：32 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 0件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)