发明专利已授权

一种卵圆形微波等离子体金刚石膜沉积装置

📄 申请号：CN202011189925.7 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2020-10-30

公开号

CN112410751B

公开日

2022-04-22

申请人

杭州晶驰机电科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C16_27

IPC 分类号

C23C16_27 , C23C16_511 ,

技术画像

所属领域

微波等离子体化学气相沉积微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜薄膜沉积设备

应用场景

精密刀具涂层, 光学窗口, 半导体散热, 电子器件, 耐磨零件

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摘要

本发明公开了一种卵圆形微波等离子体金刚石膜沉积装置，谐振腔体为卵圆形，波导和短路活塞设置在谐振腔体的顶部，同轴天线贯穿波导和谐振腔体的顶端，通过同轴天线将微波能量耦合进谐振腔体，同轴天线可上下移动；边缘沉积台设置在谐振腔体的中下部，可上下移动，中心沉积台设置在边缘沉积台的中间，可上下移动；石英钟罩设置在边缘沉积台，罩在中心沉积台上；进气管穿过谐振腔体的侧面和石英钟罩的顶部将气体送入石英钟罩；出气口设置在边缘沉积台，在中心沉积台的旁边。本发明有效解决了现有技术中存在的微波输入功率较低、缺少完善的调节措施、部件距离等离子体太近等问题。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种单细胞阵列的获取方法

当前第 / 件

一种三明治结构增强增韧电磁屏蔽复合薄膜的制备方法

同领域国内专利 · IPC: (C23C16_27)

C23C16_00 C23C16_01 C23C16_02 C23C16_08 C23C16_18 C23C16_26 C23C16_27 C23C16_30 C23C16_34 C23C16_40 C23C16_44 C23C16_455 C23C16_458 C23C16_46 C23C16_48 C23C16_50 C23C16_505 C23C16_517 C23C16_54 C23C16_56 覆盖20个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：31 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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