发明专利 已授权

一种快速制备IV族半导体微球的装置和方法

📄 申请号:CN201911226079.9 📄 发布日:2026/07/23

著录项目信息

申请日
2019-12-04
公开号
CN110902683B
公开日
2021-02-26
申请人
江苏师范大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号

技术画像

应用场景

半导体器件制造, 光电器件, 太阳能电池, 微电子封装, 新型显示技术

摘要

本发明公开了一种快速制备IV族半导体微球的装置和方法,该装置包括:10.6微米二氧化碳激光器、632.8纳米氦氖激光器、硒化锌透镜、镀金反射镜、BK7玻璃透镜、二向色镜、双光束对称加热光路系统、三维机械移动平台系统、显微成像系统和玻璃包层半导体芯光纤;首先采用玻璃包层‑熔芯拉丝法拉制玻璃包层半导体芯光纤,然后利用二氧化碳激光扫描玻璃包层半导体芯光纤形成半导体微球,成球之后去除玻璃包层,再经洗涤、干燥后得到半导体微球。本发明利用10.6微米二氧化碳激光器对光纤进行精确成球,在特定的玻璃包层半导体芯光纤结构尺寸条件下,能够精确控制成球尺寸和球度,并能够大批量生产半导体微球,具有很大的实际应用前景。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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