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发明专利
已授权
一种快速制备IV族半导体微球的装置和方法
📄 申请号:CN201911226079.9
📄 发布日:2026/07/23
著录项目信息
申请日
2019-12-04
公开号
CN110902683B
公开日
2021-02-26
申请人
江苏师范大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
C01B33_02
IPC 分类号
C01B33_02
,
B01J13_02
,
B01J13_04
,
B23K26_082
,
B23K26_14
,
B23K26_046
,
B23K26_70
,
C22C28_00
,
技术画像
所属领域
半导体材料
半导体材料
微球制备技术
材料制备工艺
应用场景
半导体器件制造, 光电器件, 太阳能电池, 微电子封装, 新型显示技术
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摘要
本发明公开了一种快速制备IV族半导体微球的装置和方法,该装置包括:10.6微米二氧化碳激光器、632.8纳米氦氖激光器、硒化锌透镜、镀金反射镜、BK7玻璃透镜、二向色镜、双光束对称加热光路系统、三维机械移动平台系统、显微成像系统和玻璃包层半导体芯光纤;首先采用玻璃包层‑熔芯拉丝法拉制玻璃包层半导体芯光纤,然后利用二氧化碳激光扫描玻璃包层半导体芯光纤形成半导体微球,成球之后去除玻璃包层,再经洗涤、干燥后得到半导体微球。本发明利用10.6微米二氧化碳激光器对光纤进行精确成球,在特定的玻璃包层半导体芯光纤结构尺寸条件下,能够精确控制成球尺寸和球度,并能够大批量生产半导体微球,具有很大的实际应用前景。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
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当前第 / 件
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