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本发明公开了一种氯硅烷及石英联合制备的方法，包括以下步骤：(1)对金刚线切割硅片的砂浆进行固液分离，得到成品硅粉；(2)以成品硅粉为原料与氯化剂进行氯化反应，制备氯硅烷，得到第一反应残渣；(3)将第一反应残渣与氧气或氯气进行高温氧化反应或高温氯化反应，进行气固分离，得到第二反应残渣；(4)将第二反应残渣进行酸浸，除去金属氧化物杂质，得到悬浮液；(5)对悬浮液进行固液分离，得到固体二氧化硅；(6)将固体二氧化硅加热至熔融，冷却后得到熔融石英。本发明对金刚线切割硅片的砂浆中的硅元素进行充分的回收利用，降低了硅元素的浪费；实现了多晶硅产业链中硅元素的循环利用，杜绝了环境污染，降低了氯硅烷的生产成本。

本发明公开了一种四氯化硅除杂方法及其装置。一种四氯化硅除杂方法包括如下步骤：S1.将离子液体干燥除水；S2.将四氯化硅加入干燥的无水离子液体；S3.将混合了四氯化硅的离子液体进行电解；S4.将经过电解的液体水浴加热，将加热得到的蒸汽冷凝，得到高纯四氯化硅。一种四氯化硅除杂装置，包含电源、惰性电极、密封且外表面绝缘的电解槽、水浴槽、冷凝器、蠕动泵以及成品罐；电源的正极连接惰性电极插入电解槽作为电解池的阳极，电源的负极连接惰性电极插入电解槽作为电解池的阴极，电解槽中间设置一个出口连接至冷凝器，冷凝器后连接有蠕动泵，随后连接至成品罐，电解槽放置于水浴槽内。本发明提出了一种新的四氯化硅的除杂方法，成本低，效果好。

本发明公开了一种多晶硅氢化反应器的筒体再强化装置，包括两个对称安装在筒体上的强化环，强化环相对一侧设有若干卡槽，通过卡槽在两个强化环之间安装有强化支撑柱；强化支撑柱中部设有感温介质仓，感温介质仓上设有感温介质气体和用以释放感温介质气体的仓门；强化支撑柱两端内活动安装有支撑滑块，支撑滑块与感温介质仓之间设有双层弹簧组。本发明减小了加强环表面个别区域受力不平衡的情况，并且能有效缓解高温高压下工作时，筒体对强化环横向内压影响，从而极大的减少六角强化环发生扭曲变形的现象。