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本发明公开了一种生产SiOx的装置及方法，装置包括：反应单元；气体出料单元；收集单元；调温机构；抽真空单元。本发明的方法，能实现SiOx的连续生产，易实现自动控制，提高生产效率，制得性能良好的SiOx材料，原料中的难挥发杂质通过反应单元底部残渣去除，通过合理控制反应单元、气体出料单元及收集单元的温度，使大部分易挥发杂质保持气体状态，从收集单元的第一出口排出。本发明装置独特的设计，实现了全流程连续生产，有利于扩大产能，减小设备投入。根据生产特性对细节进行的特殊设计，可以提高产品质量，实现设备长周期稳定运行。由于连续运行省去了启炉加热、停炉冷却等时间和能耗，从而可以提高生产效率，降低能耗。

本发明公开了一种高储锂性能多孔SiOx负极材料的制备工艺，包括以下步骤：S1、制备有核壳结构的Si‑SiOX复合芯材，其内核为Si颗粒，外层为SiOX包覆层；S2、通过对复合芯材表面进行刻蚀处理，制备多孔Si‑SiOX复合芯材；S3、利用多孔Si‑SiOX复合芯材与有机锂反应，制备载锂多孔Si‑SiOX复合芯材；S4、对载锂多孔Si‑SiOX复合芯材进行碳包覆，得到载锂多孔C‑Si‑SiOX复合芯材；S5、采用改性碳纳米管对载锂多孔C‑Si‑SiOX复合芯材进行包覆，得到高储锂性能多孔SiOx负极材料。本发明制备的高储锂性能多孔SiOx负极材料具有优异的电化学性能和循环稳定性，应用前景广阔。

本实用新型公开了一种氧化亚硅的生产装置，包括真空室、原料容器、加热源、支架、析出基体，原料容器、加热源、支架、析出基体均位于真空室内，加热源设置在原料容器上或者围绕在原料容器的周围，析出基体设置在支架上，还包括将氧化亚硅从析出基体上刮下来的刮削机构，刮削机构设置于真空室内。本实用新型可避免沉积在析出基体上的氧化亚硅受到温度影响而使品质下降。