发明专利 已授权

基于光强度调制的MOMES加速度计

📄 申请号:CN202511432343.X 📄 发布日:2026/08/18

著录项目信息

申请日
2025-10-09
公开号
CN120891225B
公开日
2025-11-28
申请人
南京信息工程大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

所属领域

应用场景

惯性导航, 振动监测, 工业自动化, 航空航天, 汽车电子

摘要

本发明公开了基于光强度调制的MOMES加速度计,属于微电子机械系统及惯性测量技术领域。所述MOMES加速度计包括硅基底座、质量块、固定锚点、弹性梁组件和双光电探测器;质量块通过弹性梁组件和固定锚点悬挂在硅基底座上,固定锚点固定在硅基底座的表面,且固定锚点与弹性梁组件连接;质量块的中心设有完全贯穿厚度方向的透光孔;双光电探测器固定在硅基底座的表面,且位于透光孔的光投射区域。当加速度计沿Y轴方向受到外界加速度作用时,矩形质量块相对于硅基底座产生位移,使透光孔投射的光斑在双光电探测器上的光强分布发生差分变化;使得该加速度计具有高灵敏度、抗干扰能力强及工艺兼容性好等优点,适用于高精度惯性测量。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (G01P15_08)

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