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本发明涉及一种差分谐振式微加速度计及其驱动方法，属于微机械传感器的技术领域。加速度计机械结构层包括两个单元。每个单元都包括第一音叉结构，两个质量块系统，质量块系统包括质量块，两根垂直梁。两个质量块系统都有一根与第一音叉结构连接的垂直梁，两根垂直梁构成第二音叉结构，第一音叉结构在X轴方向的刚度小于第二音叉结构在X轴方向的刚度，增加了结构振动稳定性，降低了灵敏度对制造误差的依赖度，抑制对称性误差。驱动方法通过控制加载在驱动电极上的电压来调节两个单元工作在不同模态，取两个单元中相同运动方向的质量块系统谐振频率实现差频输出，避免了传统驱动方式难以兼顾测量响应时间和测量带宽的缺陷。