发明专利已授权

前驱体时间分隔式制备铝酸铋薄膜的方法

📄 申请号：CN201510764938.5 📄 发布日：2026/04/10

著录项目信息

申请日

2015-11-11

公开号

CN105369216B

公开日

2017-09-22

申请人

南通大学技术转移中心有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C16_30

IPC 分类号

C23C16_30 , C23C16_52 ,

技术画像

所属领域

薄膜制备工艺薄膜制备工艺前驱体材料铝酸铋薄膜

应用场景

铁电存储器, 压电传感器, 光电子器件, 薄膜电容器, 微电子器件

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摘要

一种前驱体时间分隔式的自限制性表面吸附反应制备BiAlO3薄膜材料的方法，BiAlO3薄膜材料生长在衬底材料上，所述的BiAlO3薄膜材料的空间群为R3c，晶格常数为a=7.611Å，c=7.942Å；采用前驱体时间分隔式的自限制性表面吸附反应得到，所述表面吸附反应特指朗缪尔吸附机制的不可逆的化学吸附反应。通过采用本发明的制备BiAlO3薄膜材料的方法，可以实现BiAlO3薄膜生长厚度的精确可控，且BiAlO3薄膜表面平整度大大优于现有技术。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20230908

?? 专利权的转移：

20230131

⏳ 专利实施许可合同备案的生效：

20220429

?? 专利权的转移：

20170922

✅ 授权

20160330

?? 实质审查的生效：

20160302

📄 公开

制备组分跨越准同型相界的铝镓酸铋薄膜的方法

当前第 / 件

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