发明专利已授权

一种透光性硬质氮化碳薄膜的制备方法

📄 申请号：CN201711285578.6 📄 发布日：2026/01/12

著录项目信息

申请日

2017-12-07

公开号

CN108165952A

公开日

2018-06-15

申请人

三峡大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C16_34

IPC 分类号

C23C16_34 , C23C16_513 , C23C16_02 , C23C16_56 ,

技术画像

所属领域

薄膜材料薄膜材料硬质涂层材料氮化碳材料

应用场景

光学薄膜, 耐磨涂层, 半导体器件, 光电子器件, 装饰涂层

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

本发明公开了一种透光性硬质氮化碳薄膜的制备方法，该方法包括以下步骤：清洗玻璃基片；以甲烷为反应气体，采用等离子体增强化学气相沉积技术在玻璃基片表面沉积一层非晶碳薄膜；采用等离子体增强化学气相沉积技术对玻璃基片表面沉积的非晶碳薄膜进行氨气等离子体处理；以甲烷和氨气为反应气体，采用等离子体增强化学气相沉积技术在氨气等离子体处理后的非晶碳表面沉积一层氮化碳薄膜；在高纯氮气气氛中低温热处理氮化碳薄膜。该方法通过修饰玻璃基片表面化学键、优化氮化碳薄膜中氮原子和氢原子含量以及在氮气氛围中采用低温热处理的方法调整薄膜内应力，从而使氮化碳薄膜具有良好的硬度和透光性。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20240206

⏳ 专利实施许可合同备案的生效：

20191108

✅ 授权

20180713

?? 实质审查的生效：

20180615

📄 公开

一种磁流变传动线控制动器

当前第 / 件

一种柜体组合用拼接架

同领域国内专利 · IPC: (C23C16_34)

C23C16_00 C23C16_01 C23C16_02 C23C16_08 C23C16_18 C23C16_26 C23C16_27 C23C16_30 C23C16_34 C23C16_40 C23C16_44 C23C16_455 C23C16_458 C23C16_46 C23C16_48 C23C16_50 C23C16_505 C23C16_517 C23C16_54 C23C16_56 覆盖20个领域

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

暂无同领域相似专利推荐

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：126 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 0件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)