发明专利已授权

一种差分谐振式微加速度计及其驱动方法

📄 申请号：CN201310194025.5 📄 发布日：2025/12/23

著录项目信息

申请日

2013-05-22

公开号

CN103278660A

公开日

2013-09-04

申请人

南京信息工程大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01P15_097

IPC 分类号

G01P15_097 , B81B3_00 ,

技术画像

所属领域

微机电系统微机电系统谐振式传感器惯性传感器

应用场景

惯性导航, 消费电子, 汽车电子, 工业状态监测, 航空航天

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摘要

本发明涉及一种差分谐振式微加速度计及其驱动方法，属于微机械传感器的技术领域。加速度计机械结构层包括两个单元。每个单元都包括第一音叉结构，两个质量块系统，质量块系统包括质量块，两根垂直梁。两个质量块系统都有一根与第一音叉结构连接的垂直梁，两根垂直梁构成第二音叉结构，第一音叉结构在X轴方向的刚度小于第二音叉结构在X轴方向的刚度，增加了结构振动稳定性，降低了灵敏度对制造误差的依赖度，抑制对称性误差。驱动方法通过控制加载在驱动电极上的电压来调节两个单元工作在不同模态，取两个单元中相同运动方向的质量块系统谐振频率实现差频输出，避免了传统驱动方式难以兼顾测量响应时间和测量带宽的缺陷。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种FPGA图像处理装置

当前第 / 件

一种涂料用钴铁基合金磁粉材料及制备方法

同领域国内专利 · IPC: (G01P15_097)

G01P15_00 G01P15_08 G01P15_09 G01P15_093 G01P15_097 G01P15_12 G01P15_125 覆盖7个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：124 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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