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本申请提供一种多频CMUT器件的制造方法及多频CMUT器件，包括选用高浓度掺杂的硅晶圆作为基底制作硅基层；在所述硅基层的上表面设置绝缘层；在所述绝缘层的上表面沉积非晶硅制备牺牲层并定义CMUT单元；所述牺牲层包括圆形主体和与所述圆形主体连接的多个释放通道；在所述CMUT单元上沉积振动薄膜；在各个所述释放通道的开孔位置开设腐蚀孔，对牺牲层进行释放，形成空腔；在所述牺牲层释放完毕后密封所述腐蚀孔；利用光刻蚀工艺围绕所述圆形主体形成的空腔刻蚀预设宽度的支撑壁；深腐蚀操作至硅基层，以便沉积底电极；沉积电极及器件之间的连接导线，同时在所述振动薄膜的上表面沉积顶电极。

本发明公开了一种磺化PVDF基IPMC电致动器及其制备方法和在VR触感手套中的应用，所述IPMC电致动器由磺酸化PVDF制备的基底膜、固定在基底膜两侧的PVDF/石墨电极和外接的电信号输入系统组成，所述基底膜由磺酸化PVDF静电纺丝制成，所述PVDF/石墨电极由导电石墨掺杂PVDF挂浆成膜制成。本发明的IPMC具有大量的水通道，大量的水通道能极大的提高材料内部的水分子迁移量，在材料内部形成更大的压力差和离子流，有利于电致动器形成更大的驱动，同时也提供更大的力学性能。本发明的IPMC在用途上具有更加广阔的领域。譬如，由于本发明的IPMC质量轻，能源消耗少，因此可以用于VR游戏设备的触感手套。