发明专利已授权

一种金刚石膜的制备装置及方法

📄 申请号：CN201810452459.3 📄 发布日：2025/12/09

著录项目信息

申请日

2018-05-13

公开号

CN108660433B

公开日

2023-10-10

申请人

太原师范学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C16_27

IPC 分类号

C23C16_27 , C23C16_513 ,

技术画像

所属领域

薄膜材料薄膜材料化学气相沉积超硬材料

应用场景

切削工具, 散热材料, 光学窗口, 半导体器件, 耐磨涂层

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摘要

本发明涉及金刚石膜的制备技术，具体是一种金刚石膜的制备装置及方法。本发明解决了现有金刚石膜的制备方法制备效率低、制备质量差的问题。一种金刚石膜的制备装置，包括主体部分和控制部分；所述主体部分包括真空反应室、热丝阵列、支撑柱、杯形水冷腔、进水管、出水管、金属散热板、基片、传动柱、传动板、防水散热罩、超声波换能器、速度传感器、位移传感器、加速度传感器；所述控制部分包括微分器、积分器、三位转换开关、放大器、移相器、主施密特触发器、锁相环、第一PWM控制芯片、第一MOSFET、第一开关电源变压器、第一整流器、第一衰减器、第一从施密特触发器。本发明适用于金刚石膜的制备。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

基于三轴加速度计的穿戴式睡眠监测设备

当前第 / 件

卡箍自动检测机

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