发明专利 已授权

一种框架式平面三自由度压电谐振自致动机构及其激励方法

📄 申请号:CN201910614592.9 📄 发布日:2026/08/27

著录项目信息

申请日
2019-07-09
公开号
CN112217415B
公开日
2024-07-02
申请人
重庆邮电大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

所属领域

应用场景

精密加工, 微纳操纵, 半导体制造, 光学对准, 生物操作

摘要

本发明涉及一种框架式平面三自由度压电谐振自致动机构及其激励方法,属于压电驱动领域,可以用于精密驱动、医疗、微机械等领域。本发明是为了解决现有的三自由度压电自致动装置输出力较小、成本高、致动能力不足的问题。本发明的三自由度压电谐振自致动机构为框架式结构,所述该压电谐振自致动机构包括四组结构完全相同的串联式柱状纵振压电换能器及其连接装置,每组串联式柱状纵振压电换能器可以视为由两个三角梁连接的两个柱状纵振压电换能器构成。本发明所述该自致动机构的激励方法是通过两相电压激励信号分别激励四组串联式柱状纵振压电换能器的纵振,实现其在平面上的三自由度致动功能。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

20240702
✅ 授权
20210129
?? 实质审查的生效 :
20210112
📄 公开

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