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本发明公开了一种基于柔顺机构的尺蠖式精密直线微驱动器，包括驱动机构、2个箝位机构和动子组成，其中驱动机构由4个对称布置的驱动支链和1对定子组成，驱动支链由2个杠杆结构组成，驱动支链采用柔性铰链连接于定子，相对于定子能作往复微位移运动；箝位机构由对称布置的3对柔性铰链、1对杆件组和1对箝位片组成，2个箝位机构通过杆件对称连接于驱动机构两端；动子为细长圆柱形结构，置于微驱动器对称中心，通过孔与箝位机构配合，通过通槽与驱动机构配合，能在孔和通槽中运动。采用驱动机构驱动箝位机构进行往复运动，箝位机构带动动子作直线运动的运动形式仿生尺蠖运动规律。所设计的微驱动器可用于超精密加工、精密工程、微机电系统、生物工程、半导体制造等领域。

本发明公开了一种音叉型结构的压电致动器及其工作方法，本发明压电致动器包括基板、定子、动子，所述的定子包括金属弹性体，金属弹性体安装于所述的基板，金属弹性体设有对称的悬臂梁，悬臂梁呈弧形，朝向对侧；金属弹性体的两表面以及悬臂梁的两表面各粘接压电陶瓷片；所述的动子直线滑动式地装配于所述的基板，所述的动子包括滑动片；所述定子的两悬臂梁能夹持所述的滑动片并促使滑动片作步进运动。本发明基于传统的贴片式压电致动器结构设计，研发了一种高精度、低噪音、结构小巧的压电致动器。

一种带调频圆槽的大推力贴片式塔形直线超声电机，属超声电机类。该电机由定子和动子组成；所述定子由塔形金属体及对称粘贴在其外表面的六片压电陶瓷构成；其中塔形金属体含有一个驱动足、一个柔性放大圆孔、四个调频圆孔和两个矩形柱；其中压电陶瓷用于激发定子x－z剖面弯曲振动模态和y－z剖面对称振动模态；所述动子由预压力压在定子驱动足上。由于调频圆孔的作用，使得在较大的预压力下定子的两个正交工作模态的模态频率达到一致，此时用两路相位差为π/2的正弦信号同时激励定子的两个正交工作模态，使定子的驱动足端面上产生椭圆运动，经摩擦作用驱动动子。相对于现有超声电机，该电机可在更大的预压力下工作，从而提供更大推力。

本发明公开了用于光学镜头调焦的悬臂梁式超声波电机及其驱动方法，本发明超声波电机包括中空悬置机构、悬臂梁压电定子、铁磁性材料导轨、柔性铰链；所述的悬臂梁压电定子包括四条结构相同的压电双晶片悬臂梁振子，压电双晶片悬臂梁振子由两片沿厚度方向极化且极化方向相反的压电陶瓷片和金属基体构成，两压电陶瓷片对称且平行布设于金属基体的两相对面；中空悬置机构由正方体于中部挖一圆柱形通孔而成，于圆柱形通孔的内壁两相对处沿竖向各粘接一所述的铁磁性材料导轨；柔性铰链有四条，分布并连接于中空悬置机构的四角，每条柔性铰链与一所述的压电双晶片悬臂梁振子相连接，压电双晶片悬臂梁振子与中空悬置机构的相对应面相平行。

本发明涉及交错四足驱动压电步进直线电机，所述第一作动杆与第二作动杆相对于动子呈对称分布，第一作动杆的一端通过左侧水平柔性铰链与左侧上部基座相连，第二作动杆的一端通过右侧水平柔性铰链与右侧上部基座相连，第一作动杆的另一端与第一组箝位机构相配合的相接，第二作动杆的另一端与第二组箝位结构相配合的相接。本发明提出交错四足驱动压电步进直线电机，叠层压电陶瓷的伸缩作用通过摆杆以及位移转换机构传递到动子，输出位移的方向与叠层压电陶瓷伸缩的方向平行；当给叠层压电陶瓷输入压电控制信号后，能够实现差动动作，从而实现大行程、大推力与高精度兼顾。

本发明公开了一种基于Terfenol‑D薄片的惯性冲击直线驱动器，包括线圈、驱动块和两端开口的筒体；线圈缠绕在筒体外周面，线圈通入锯齿波电流；驱动块设置在筒体内部，驱动块与筒体滑动配合；驱动器还包括两块弹性片和若干Terfenol‑D薄片，两块弹性片相对设置，弹性片的一端固定在驱动块上，弹性片的另一端固定连接有配重块；所述Terfenol‑D薄片间隔粘贴在两块弹性片的外侧面，Terfenol‑D薄片的最大磁致伸缩方向一致，并且与弹性片的长度方向一致，筒体、驱动块、配重块和弹性片均采用非导磁材料。本发明避免了供电电缆振动对运动精度的影响，提高了驱动器的可靠性；可实现双向驱动，驱动行程大。

本发明提出了一种驱动器及驱动方法，该驱动器包括驱动模块、传动模块、弹性元件、输出轴和底座模块；驱动模块包括压电堆和位移放大机构，位移放大机构包括随压电堆的伸缩形变而往复直线移动的水平移动端、相对压电堆静止的固定端、随压电堆的伸缩形变而上下移动的竖直移动端；传动模块用于将位移放大机构的直线运动转化为输出轴的旋转运动，包括齿柱、齿盖和齿筒；输出轴的下端穿过底座模块上的支撑轴，并伸出底座模块；输出轴转动安装于底座模块；弹性元件套设在齿筒的下段外侧，并放置于齿筒的上段和底座模块之间；在每个周期性电压信号中，弹性元件均处于压缩状态。本发明可做到小型化，且驱动精度高、输出力矩大及使用寿命长。

本发明公开了一种复合差动支链的并联式三自由度精密微动机构及其工作方法，三自由度精密微动机构包括三组柔性驱动单元和一个输出块，所述输出块位于三组柔性驱动单元的中心位置，每一组柔性驱动单元包括一个压电陶瓷驱动器和一个受所述压电陶瓷驱动器驱动的驱动块，所述驱动块的两侧分别由一个平行四边形柔性铰链结构进行定位，每相邻的两个驱动块的边缘通过z字型铰链连接于一个中间块上，每一个中间块通过一个半圆形铰链连接于所述输出块上。具有承载能力强，抗干扰能力强的特点。