发明专利已授权

基于Fano共振的侧边耦合波导谐振腔的溶液浓度传感器

Name: 基于Fano共振的侧边耦合波导谐振腔的溶液浓度传感器
Brand: 东北林业大学
SKU: 2021100341627
Availability: InStock

📄 申请号：CN202110034162.7 📄 发布日：2026/08/05

著录项目信息

申请日

2021-01-12

公开号

CN112881339B

公开日

2022-07-05

申请人

东北林业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01N21_41

IPC 分类号

G01N21_41 , G01N21_01 ,

技术画像

所属领域

集成光子器件集成光子器件光波导谐振腔光学传感器

应用场景

溶液浓度检测, 生物医学检测, 化学分析, 环境监测

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摘要

本发明公开了一种基于Fano共振的侧边耦合波导谐振腔的溶液浓度传感器，包括基底层、金属层、直波导、金属挡板、第一谐振腔和第二谐振腔，所述的第一谐振腔和第二谐振腔中均填充待测溶液，所述的直波导中填充空气。当入射光波长是第一谐振腔的共振波长时，激发表面等离子激元，表面等离子激元由直波导耦合到第一谐振腔，然后耦合进入第二谐振腔，再耦合进入第一谐振腔，再耦合进入直波导并输出，第一和第二谐振腔为产生Fano共振提供窄带的离散态，直波导结合金属挡板为产生Fano共振提供宽带的连续态，离散态与连续态的干涉产生Fano共振。本发明结构简单、响应快，减小了器件的体积，实现小型化、高集成度的微纳光学传感器。

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20220705

✅ 授权

20210618

?? 实质审查的生效：

20210601

📄 公开

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