发明专利已授权

一种类X形谐振腔等离子波导浓度传感器

Name: 一种类X形谐振腔等离子波导浓度传感器
Brand: 东北林业大学
SKU: 2022100576044
Availability: InStock

📄 申请号：CN202210057604.4 📄 发布日：2026/08/05

著录项目信息

申请日

2022-01-19

公开号

CN114397275B

公开日

2023-09-19

申请人

东北林业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01N21_41

IPC 分类号

G01N21_41 , G01N21_01 ,

技术画像

所属领域

谐振腔传感器谐振腔

应用场景

生物传感, 化学检测, 环境监测, 工业在线检测, 医学诊断

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摘要

本发明公开了一种类X形谐振腔等离子波导浓度传感器，解决了现有的传感器的抗干扰能力差，因噪声的影响，导致Fano共振失真、精度下降的问题，包括基底层、金属层、直波导、金属挡板和三个谐振腔，利用多个相互耦合的谐振腔构建类X形谐振腔等离子波导，并在激发的表面等离极化激元中引入透射离散态，进而产生Fano共振，通过改变谐振腔的结构参数，进而调节Fano共振的波长，当谐振腔中均填充待测物质，通过测量Fano共振的波长，并依据待测物质的折射率与待测物质的浓度间的关系，得到待测物质浓度。本发明具有体积小、响应快、易于实现集成化光子器件的优点，实现了环境、生物、医学等领域的纳米级光学传感。

常见问题

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

基于Fano共振的侧边耦合波导谐振腔的溶液浓度传感器

当前第 / 件

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