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发明专利
已授权
一种类X形谐振腔等离子波导浓度传感器
📄 申请号:CN202210057604.4
📄 发布日:2026/08/05
著录项目信息
申请日
2022-01-19
公开号
CN114397275B
公开日
2023-09-19
申请人
东北林业大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
G01N21_41
IPC 分类号
G01N21_41
,
G01N21_01
,
技术画像
所属领域
谐振腔
传感器
谐振腔
应用场景
生物传感, 化学检测, 环境监测, 工业在线检测, 医学诊断
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摘要
本发明公开了一种类X形谐振腔等离子波导浓度传感器,解决了现有的传感器的抗干扰能力差,因噪声的影响,导致Fano共振失真、精度下降的问题,包括基底层、金属层、直波导、金属挡板和三个谐振腔,利用多个相互耦合的谐振腔构建类X形谐振腔等离子波导,并在激发的表面等离极化激元中引入透射离散态,进而产生Fano共振,通过改变谐振腔的结构参数,进而调节Fano共振的波长,当谐振腔中均填充待测物质,通过测量Fano共振的波长,并依据待测物质的折射率与待测物质的浓度间的关系,得到待测物质浓度。本发明具有体积小、响应快、易于实现集成化光子器件的优点,实现了环境、生物、医学等领域的纳米级光学传感。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
基于Fano共振的侧边耦合波导谐振腔的溶液浓度传感器
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