本发明公开了一种基于Fano共振的侧边耦合波导谐振腔的溶液浓度传感器,包括基底层、金属层、直波导、金属挡板、第一谐振腔和第二谐振腔,所述的第一谐振腔和第二谐振腔中均填充待测溶液,所述的直波导中填充空气。当入射光波长是第一谐振腔的共振波长时,激发表面等离子激元,表面等离子激元由直波导耦合到第一谐振腔,然后耦合进入第二谐振腔,再耦合进入第一谐振腔,再耦合进入直波导并输出,第一和第二谐振腔为产生Fano共振提供窄带的离散态,直波导结合金属挡板为产生Fano共振提供宽带的连续态,离散态与连续态的干涉产生Fano共振。本发明结构简单、响应快,减小了器件的体积,实现小型化、高集成度的微纳光学传感器。
📄 2021100341627
📂 G01N21_41
👤 东北林业大学
📅 2021-01-12