实用新型已授权

一种半导体生产用的气体反应装置

📄 申请号：CN202222724953.5 📄 发布日：2025/11/16

著录项目信息

申请日

2022-10-15

公开号

CN218059197U

公开日

2022-12-16

申请人

青岛柏事泰科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C23C16_458

IPC 分类号

C23C16_458 , C23C16_455 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备化学气相沉积气体反应设备

应用场景

半导体制造, 集成电路制造, 薄膜沉积, 晶圆加工, 芯片制造

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摘要

本实用新型公开了一种半导体生产用的气体反应装置，包括罐体，所述罐体后侧顶端位置处固定连接有舵机，所述舵机输出端固定连接有一号固定杆，所述一号固定杆前端固定连接有碟盘，所述碟盘上下两面分别设置有四个均匀分布的反应槽，所述反应槽左右两端分别设置有弹簧片，所述碟盘上下两面分别设置有引气道，所述碟盘右侧设置有旋转槽，所述旋转槽内部中转动连接有二号固定杆，所述碟盘外径上下两端分别设置有卡槽，顶端所述卡槽外径前后两侧分别滑动连接有滑块，所述滑块与卡槽不相对的一侧分别固定连接有封壳。本实用新型中，通过简化半导体的更换步骤，使碟盘进行自主的旋转和双面性来对半导体的生产效率进行提升。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种标签印刷用快速固化装置

当前第 / 件

一种不干胶标签印刷用调节间距装置

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