发明专利已授权

一种制备金刚石膜的装置及使用该装置制备金刚石膜的方法

📄 申请号：CN201410068775.2 📄 发布日：2025/11/14

著录项目信息

申请日

2014-02-27

公开号

CN103911596B

公开日

2016-07-06

申请人

上海征世科技股份有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C16_27

IPC 分类号

C23C16_27 , C23C16_513 ,

技术画像

所属领域

金刚石材料金刚石材料化学气相沉积薄膜沉积设备

应用场景

精密加工工具, 半导体散热, 光学窗口, 电子器件, 耐磨涂层

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摘要

本发明提供一种制备金刚石膜的装置，其采用微波等离子体化学气相沉积装置，该装置包括微波系统、真空系统、供气系统和等离子反应室，等离子反应室中设有一自旋转基片台，工作过程中微波系统产生的微波进入等离子反应室，在自旋转基片台上方激发供气系统提供的气体产生等离子体球，在自旋转基片台上方还设有耐高温金属圆环，该耐高温金属圆环位于等离子球内部下半部分。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20250919

⏳ 专利权的保全：

20210820

⏳ 专利权人的姓名或者名称、地址的变更：

20170405

?? 专利权的转移：

20160706

✅ 授权

20140806

?? 实质审查的生效：

20140709

📄 公开

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