发明专利已授权

一种结晶-电渗析-反渗透耦合制备不同纯度电子级磷酸的工艺

📄 申请号：CN201310733363.1 📄 发布日：2025/11/14

著录项目信息

申请日

2013-12-26

公开号

CN103818889B

公开日

2015-11-11

申请人

武汉新硅科技潜江有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C01B25_234

IPC 分类号

C01B25_234

技术画像

所属领域

电渗析化工分离工艺膜分离技术无机化工反渗透电渗析

应用场景

半导体制造, 集成电路蚀刻, 芯片清洗, 液晶面板制造, 光伏电池制造

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摘要

本发明属于磷酸净化技术领域，提供了一种结晶-电渗析-反渗透耦合制备不同纯度电子级磷酸的工艺，本发明工艺通过耦合多种分离净化技术，弥补了单一分离净化技术的不足，可以有效地制备纯度大于99.99%的电子级磷酸，同时由结晶法净化处理得到的产品1和由结晶-电渗析法净化处理得到的产品2分别达到了MOS级电子级磷酸标准要求，由结晶-电渗析-反渗透法净化处理得到的产品3达到了BV-Ⅰ级电子级磷酸标准要求，可以满足电子级磷酸应用的不同需求，本发明工艺条件温和、投资少、能耗低、易操作、安全性好、无二次污染。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：124 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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